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   2009年10月26日,合能陽(yáng)光榮獲多晶硅鑄錠(定向凝固)配料工藝軟件,CZ直拉硅單晶配料軟件,半導(dǎo)體重?fù)缴a(chǎn)工藝計(jì)算軟件、鍺直拉單晶配料軟件,硅母合金速算王,鎵摻雜工藝計(jì)算軟件等六項(xiàng)版權(quán)專利。

 

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